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产品优势
全自研解决规划
全自研解决规划
主题部件均自主研发
兼容性
兼容性
可兼容多材质晶圆
适配性
适配性
可适配多尺寸晶圆
精准鉴别
精准鉴别
精准鉴别晶圆的位移与角度误差
产品参数
晶圆纠偏精度
±0.1mm
晶圆转角精度
±0.2°
下载信息验证

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400-800-8666

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